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干式真空泵特點與應用

點擊:2902 日期:2019-01-07 選擇字號:

            干式真空泵使工作容積中無油,因而帶來了不少好處。首先,它加強了泵的牢靠性。干式泵不像油密封泵那樣遭到水蒸氣或者塵粒的影響,因而它們更耐用,所需的維護工作更少。減少用油量還意味著減少了認真處置油而破費的本錢。運用干式真空泵還使可能的污染減到最小水平,這種污染既可能呈現在油里——影響了泵的性能,也可能呈現在某些極端的狀況下 

 干式真空泵

  目前,真空行業運用的大多數干式真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充任泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、光滑等多種作用。隨著科學技術的開展以及真空應用范疇的擴展,原有的干式真空泵及其組成的抽氣系統呈現了兩個急需處理問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多狀況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護本錢。其次,由于某些工藝過程中的反響物質使真空泵內的介質嚴重蛻變,使泵不能正常工作。

  關于普通的無油真空系統來說,固然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來避免返流,但不能徹底處理問題,而且使系統顯得復雜。而運用恰當型式的干式真空泵,則能夠到達理想的運用效果。

  干式真空泵的應用是普遍的,主要有以下幾個方面:

  1)低壓化學氣相堆積中的多晶硅制備工藝中;

  2)半導體刻蝕工藝。在這些消費工藝中常常用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

  3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵能夠滿足請求;

  4)用做普通無油清潔真空系統的前級泵,以避免油污染;

  5)在化學工業、醫藥工業、食 品工業中的蒸餾、枯燥、脫泡、包裝等,要避免有機溶劑形成污染,合適用干式真空泵。

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